电子束曝光机用单标记进行误差检测及修正

摘要

要对电子束扫描场畸变进行修正,首先要进行扫描场畸变的测量。我们采用单标记进行电子束扫描场畸变测量,有其独特的优点。本文介绍了我们的检测方法和通过曝版所观察到的修正效果。