用于软X射线光刻的等离子体源及干涉诊断分析

摘要

阐述了等离子体的产生机理和影响软Ｘ射线产生的因素，利用产生软ｘ射线的实验系统，分析了软ｘ射线转换效率与原子数的关系及其空间相干性，给出了等离子体的干涉诊断方法及几个重要的结论。