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刘波; 张平; 吴一辉; 杨杰伟;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;
中国科学院研究生院,北京,100039;
平面线圈; 微模塑; 微沟槽; 模版; 固化;
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机译:定子嵌入式电磁悬浮微电机(ELMSE):悬浮和横向稳定性特征分析
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