中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;
安徽大学电子科学与技术学院,合肥,230039;
中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;
安徽大学电子科学与技术学院,合肥,230039;
安徽大学电子科学与技术学院,合肥,230039;