电子显微镜的真空系统设计

摘要

电子显微镜是非常精密的电子仪器,在医学中主要应用于分子结构的病理分析,其放大倍数可以达到100万倍以上,线分辨率达到0.2nm,点分辨率达到0.3nm.独特的性能决定了其结构的独特性,其中真空系统设计是电子显微镜结构中非常重要的一部分,其性能好坏直接影响到电子显微镜的优劣.本文分三个层次介绍了电子显微镜的真空系统设计.