IMU中MEMS惯性器件的温度补偿方法

摘要

MEMS器件目前使用已经比较普及,陀螺器件的温度补偿技术的应用也已经相当广泛,但在补偿过程中,由于MEMS器件本身重复性和精确性都比较差的特点,测量数据波动比较大,高低温实验温度曲线往往不能重合,而且测量过程中经常出现异常点,这给进行曲线拟合与标定带来了一定的问题.文章阐述了对一种采用MEMS陀螺作为其惯性器件的小型化IMU进行高低温补偿的实验方法,在实际高低温实验标定过程中,对实验出现的高低温度曲线不重合以及数据波动比较大的情况,进行比较有效的曲线拟合,使对MEMS陀螺器件的温度补偿达到比较理想的效果.