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唐鹏; 王启民; 林松盛; 代明江;
广东省新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室 广东 广州 510650;
广东工业大学 机电工程学院 广东 广州 510006;
AlCrN涂层; 高功率脉冲磁控溅射; 基体偏压; 力学性能;
机译:ALCR /以靶向靶向高功率脉冲磁控溅射工艺合成的ALCRN涂层微观结构和力学性能的影响
机译:氮气流量比对高功率脉冲磁控溅射制备的Alcrn涂层微结构和力学性能的影响
机译:功率脉冲参数对调制脉冲功率磁控溅射AlCrN涂层组织和性能的影响
机译:脉冲频率和基体偏压对脉冲直流磁控溅射沉积CrN涂层力学性能的影响
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:偏压,内应力和基体对pvd耐磨涂层组织和性能的影响
机译:高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)在多孔基体中进行深金属沉积,金属催化剂浸渍的多孔基质及其用途
机译:高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的闪频抑制和脉冲
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