不同衬底对离子束辅助沉积TiCxNy膜力学性能影响的研究

摘要

用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）技术在ＴＣ４钛合金和９Ｃｒ１８、ＧＣｒ１５钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜，ＴＥＭ观察发现膜均呈多晶结构，都具有（１１１）、（２００）和（２２０）择优取向，ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置。膜的硬度和摩擦特性与Ｎ含量有关，总的趋势是Ｎ的含量过高，其硬度与摩擦性能均下降，在本试验条件下，以注入量３×１０６１７ｉｏｎｓ／ｃｍ＾２的辅助剂量最佳，干摩擦表明膜