Zn掺杂的TiO₂薄膜的光分解水性能的研究

摘要

本文采用磁控溅射的方法,以金属Ti和ZnO陶瓷为靶材,Ar和O2混合气为工作气体,进行双靶共溅,对沉积的薄膜进行600℃快速退火处理以得到Zn-TiO2薄膜。结果表明,Zn掺杂TiO2引起带隙少量红移。随Zn掺杂元素的含量的增加,Zn-TiO2薄膜的载流子浓度先减小后增加。Zn掺杂引起薄膜的平带电压和光照下薄膜氧化还原反应起始电位值均向负方向移动。Zn掺杂浓度为3.5%时,薄膜光饱和电流密度是不掺杂样品的2.1倍,光分解水性能最佳。