直拉法硅单晶生长中断棱与掉苞问题的探讨

摘要

在直拉法硅单晶生长过程中，由于位错的产生经常会导致硅棒发生断棱与掉苞现象，严重影响了晶体硅和器件的性能，降低了硅太阳能电池的光电转换效率。为了分析该现象，借助于位错形成的理论，探讨了Ф2O3mm（100）硅棒发生断棱与掉苞的具体原因及应对措施。影响直拉法单晶硅棒发生断棱与掉苞的因素包括：熔体申过多的杂质，热场、机械传动装置及炉体的不稳定等。