基于模糊PID技术的CO2激光器恒温控制研究

摘要

为保证CO2激光输出功率的稳定性,提出了基于模糊PID技术的CO2激光器恒温控制系统.控制核心采用飞思卡尔单片机MC9S08AW实现模糊PID控制算法并输出控制量,控制量控制数字PWM波驱动MOSFFT电路,产生相应的电流驱动TEC热电制冷器对CO2激光器进行恒温控制.实验结果表明,CO2激光器的温度控制精度达到±0.05℃.