DC-DC转换器微型片上螺旋电感器的设计和建模

摘要

本文研究了片上电感工艺参数的影响，利用MATLAB仿真仿真了片上电感的特性。所有的电感均采用标准的具有金属层的硅工艺进行制造。只有当技术参数（例如顶部金属和衬底之间的金属导电率、金属厚度、氧化物厚度，以及电感上衬底的导电率，品质因数和自谐振频率）一起使用时，仿真结果才是准确的。