基于MEMS安保机构微弹簧测试方法的分析

摘要

介绍了S型微弹簧弹性系数的两种测量方法.在S型弹簧弹性系数计算公式的基础上,数字式显微镜试验方法通过对公式中主要影响因素的测量,计算出设计值与实际值的相对误差,并能够提出设计和加工的改善方法.用数字式显微镜方法进行大量的数据收集、数据整理、数据计算,是弹性系数研究的基础.为满足大批量弹性系数测试,在这基础上提出转台试验的测量方法.通过对转台试验原理的分析和验证,确定该测试方法能满足测试目的.