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罗钧文; 戴强; 陈翔;
西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室 四川 绵阳 621010;
芯片表面; 应变测量; 微尺度; 显微视觉; 光刻;
机译:具有平面控制端口的气动MEMS管内微阀,用于集成在芯片表面上的微流体系统
机译:使用随机二阶计算多尺度方法对材料和表面轮廓不确定性的传播在MEMS微谐振器上
机译:激光微尺度纹理化工具对奥氏体不锈钢车削过程中工具-芯片界面性能和表面完整性的影响
机译:使用基于MEMS的微夹持器和触觉界面进行中尺度到微尺度对象的微尺度对象控制
机译:基于MEMS的微毛细管泵送环路,用于芯片级温度控制。
机译:基于MEMS的颗粒物空气微流控分级芯片的设计与分析
机译:用于EUVL和mEms应用的微尺度稀薄气体动力学和表面相互作用。
机译:放置在材料中的微尺度和纳米尺度结构,以用于细胞和组织培养以及其他表面和界面应用中的当前微尺度和纳米尺度弯曲和刚度模式
机译:用于制造微尺度表面皱纹的压模及其制造方法和使用该压模在结构上制造微尺度表面皱纹的方法
机译:用于微尺度表面皱纹的制造设备和使用相同方法制造微尺度表面皱纹的方法
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