激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究

摘要

探讨激光合成波长干涉仪零相位检测方法,构建基于DSP芯片TMS320F28335的零相位检测实验装置,选用两个捕捉单元获取两单波长干涉信号的上升沿时刻差,用线性回归拟合方法算出零相位点位置。在恒温恒湿实验室中,分别以7 000、10 000和13 000个拟合点数进行实验,实验结果显示,参考镜过零点位置平均值分别为283 388.8、285 830.9、286 533.2μm,标准偏差分别为0.25、0.43、0.36μm。结果表明:选取7 000个拟合点数进行计算时,标准偏差最小,计算得到的过零点位置最准确。