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多层金属膜厚度的无损测量研究

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摘要

提出一种用电涡流传感器实现无损在线测量工件金属膜厚度的方法.给电涡流传感器同时施加3种不同频率的激励信号,通过传感器与各层金属膜所感应的电涡流密度,可以间接获得2层不同材料的金属膜厚度,同时还可获得传感器与表层被测工件表面的距离.理论分析和实验结果表明了这种方法的可行性.

著录项

来源
《西安理工大学学报》 |1999年第4期|15-20|共6页
作者
梁鸿生;
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作者单位

西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048;

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正文语种 chi
中图分类力学量测量仪表;
关键词
金属膜厚度; 无损测量; 电涡流;

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