LaAlO3/GaAs异质结界面的空穴导电行为分析

摘要

采用脉冲激光沉积方法在GaAs(001)单晶基片上生长LaAlO 3薄膜构成LaAlO 3/GaAs异质结,利用原子力显微镜和XRD对LaAlO 3/GaAs异质结进行表征,并通过PPMS对LaAlO 3/GaAs异质结进行面内电阻和霍尔电阻测试,研究其界面电输运性能.结果表明,LaAlO 3在GaAs表面生长均匀,LaAlO 3/GaAs异质结界面处存在空穴型的导电行为,且该空穴来源于界面处的悬空键效应.