(Pb,La) TiO3薄膜的结构与性能

摘要

采用溶胶-凝胶技术在LaNiO3/Si衬底上制备不同退火温度(450、500、550℃)、不同La掺量的Pb1-xLaxTiO3(x=0、5％、7.5％、10％)铁电薄膜,利用X射线衍射法对产物进行表征,研究退火温度和La掺量对薄膜性能的影响.结果表明,掺加La有助于PbTiO3薄膜的(100)晶面衍射峰增长,随温度升高,薄膜的晶化程度变好,剩余极化强度稍有减小,矫顽电场强度减小,漏电电流密度减小,且介电常数增大;退火温度为550℃时,Pb0925La0.075TiO3薄膜的剩余极化强度为35 μC/cm2,矫顽电场强度为147 kV/cm,漏电电流密度为10-8A/cm2,介电常数值为487(100 kHz).