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周鸿仁; 刘秀蓉;
电子科技大学信息材料工程学院;
铂薄膜; 热敏电阻; 磁控溅射; 热处理; 铂;
机译:直流磁控溅射法制备的微传感器用微加热器用直流磁控溅射铂薄膜的电学和热学性能
机译:在140-290℃的应力温度下,晶片级和微热板上的薄膜铂电阻的可靠性得到改善
机译:使用薄膜铂电阻传感器测量停滞温度
机译:直流磁控溅射法制备的微传感器用微型加热器用直流磁控溅射铂薄膜的电学和热学性能
机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:用氢气直流磁控溅射制备不同薄膜催化剂
机译:反应直流磁控溅射合成混合价铼氧化物薄膜的光化学性质。
机译:在真空状态下的光学薄膜内部的膜状零反应性直流磁控溅射装置用于高级真空
机译:在生产方式上由于具有薄膜的光掩模坯料的直流磁控溅射模量
机译:活性直流磁控溅射非化学计量钨氧化物薄膜的色度和光致发光方法
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