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王立代; 熊沈蜀; 周兆英;
清华大学精密仪器与机械学系;
北京100084;
空速计; 空速管; 微型飞行器; 微机电系统(MEMS);
机译:MEMS电容式压力传感器-适用于改善线性度的微压力传感器的应用示例
机译:基于MEMS基于MEMS用于航空航天应用的压力传感器的测试与评估
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机译:基于MEMS加速度计和MEMS麦克风的小型地震声传感器系统
机译:具有集成MEMS压力传感器的微通道中结构化粗糙度的设计和制造。
机译:基于图案化超厚光刻胶的基于MEMS的压力传感器封装的制造和性能
机译:基于MEMS的微流体应用的压蚀压力传感器的设计与仿真
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机译:小型微熔硅应变计(MSG)压力传感器包装
机译:小型,高电容读出基于硅的MEMS加速度计
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