基于光纤法珀干涉仪偏置点控制的高频振动位移测量方法

摘要

为了实现超声换能器辐射面的振动测量,本文研究了一种基于光纤法珀干涉仪偏置点控制的高频振动位移测量方法,具有抗环境干扰、精度高等优点.针对正交相位偏置点解调方法中偏置点不稳定的问题,提出并分析了一种采用压电陶瓷叠堆执行器调整腔长稳定偏置点的工作原理,并对高频振动位移测量系统的性能进行了实验测试.实验结果表明:通过反馈控制腔长可以实现法珀干涉仪相位偏置点的稳定;位移测量系统的位移分辨率高于0.229 nm;测得位移和换能器的输入电压的非线性度小于3.41％.