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朱目成; 刘强;
西南工学院;
气动中心4所;
加速度传感器; 压阻式传感器; 硅; 低g值;
机译:CMOS兼容的批量微机械加工的硅压阻式加速度计,轴外灵敏度低
机译:高敏感和低串扰角度加速度传感器,使用镜面对称液环通道和MEMS压阻悬臂
机译:具有自抵消跨轴灵敏度的六束压阻式加速度传感器
机译:硼硅酸盐玻璃厚度的影响在压阻式硅高压测量元件压阻式应力状态下的基板逆变器
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:使用人造丝状传感器结构的生物悬浮压阻式加速度传感器
机译:多层多晶硅谐振器中的压阻式转换。
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:压阻硅加速度传感器及其制造方法
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
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