基于激光干涉仪的数控机床螺距r误差补偿与应用

摘要

在半闭环控制的数控机床中,丝杠螺距误差是影响加工精度的一个重要因素,而利用激光干涉仪进行螺距误差补偿是解决这一问题的有效手段.文章介绍了雷尼绍激光干涉仪的工作原理及测试方法,采用XL-80型激光干涉仪对西门子数控机床进行等间距螺距误差测量和补偿,并对不同补偿数组输入前后的测试数据进行分析,结果表明,在螺距误差正确补偿后机床的定位精度从0.052 mm提高至0.012 mm,反向间隙值由0.023 mm降至0.005 mm.