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杨松; 王宏; 杨志家;
中国科学院沈阳自动化研究所;
栅极泄漏电流; SRAM; 栅氧化层厚度; 静态噪声边界;
机译:绝缘体上硅厚度小于5nm的(110)取向超薄双栅p型金属氧化物半导体场效应晶体管的迁移率降低
机译:0.25微米双栅氧化层厚度CMOS工艺对多指深亚微米MOS器件闪烁噪声性能的影响
机译:在0.6- / splμ/ m双电压混合信号CMOS工艺中集成两种不同的栅氧化层厚度
机译:具有双阈值电压和双栅氧化层厚度的低泄漏动态电路
机译:用于45nm及以后工艺的氧化gate和硅酸ha栅氧化物的工艺开发,表征,瞬态松弛和可靠性研究。
机译:使用Al2O3势垒层控制原子层沉积的Al2O3 / La2O3 / Al2O3栅堆叠中的硅扩散控制
机译:栅氧化层厚度对mOs集成电路速度的影响
机译:在双栅CMOS制造工艺中减少多晶硅层厚度变化引起的多晶硅耗尽的方法
机译:具有双介电层的电容器及其制造方法,可将泄漏电流特性和击穿电压特性降低到每只电池0.5 fF,并使等效的氧化层厚度不超过30埃
机译:确定穿过薄栅氧化膜的隧道中有效栅氧化层厚度和临界栅氧化层厚度的方法
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