多孔TiO_2/FTO纳米有序阵列膜的可控生长研究

王成伟; 马军满; 李燕; 张其君

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用脉冲激光沉积(PLD)技术在导电玻璃(FTO)衬底上沉积Ti膜,采用电化学阳极氧化方法,细致研究了FTO衬底上多孔TiO2纳米有序阵列膜的可控生长.结果表明,恰当的阳极电压对形成高度有序、孔径均匀的多孔TiO2/FTO阵列膜至关重要;通过优化的工艺参数,借助阳极氧化过程中各阶段电流-时间(I-t)曲线的准确判断,可实现对多孔TiO2阵列膜生长过程的有效控制,制备出高质量的多孔TiO2/FTO阵列膜.

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来源
《西北师范大学学报：自然科学版》 |2010年第4期|37-42|共6页
作者
王成伟; 马军满; 李燕; 张其君;
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作者单位

西北师范大学物理与电子工程学院;

中国科学院兰州化学物理研究所;

固体润滑国家重点实验室;

西北师范大学极端环境原子分子物理实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类钛副族（ⅣB族金属元素）;
关键词
多孔TiO2/FTO纳米有序阵列膜; 阳极氧化; 可控生长;

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