钽的氮离子注入法研究

摘要

实验研究证实，通过氮离子注入的方法对钽基材进行表面强化，可大大提高钽村的表层硬度及耐蚀性能。俄歇电子能谱及Ｘ射线衍射分析表明，Ｔａ注入Ｎ＋后生成了新相ＴａＮｏ．１。