铁电材料的纳米尺度压电响应力显微术研究进展

摘要

压电响应力显微术是在原子力显微镜的基础上,利用材料自身逆压电效应来探测样品表面形变的一类技术总称.现已作为铁电材料研究的重要手段,应用于纳米尺度畴结构的三维成像、畴结构的动态研究、畴结构控制和微区压电、铁电、漏电等物理性能表征等领域.本文就近年来利用压电响应力显微术对铁电材料的研究方面作一综述.