钛掺杂对Ge2Sb2Te5薄膜相变特性的改善

张颖; 魏慎金; 易歆雨; 程帅; 陈坤; 朱焕锋; 李晶; 吕磊

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利用椭偏光谱术与XRD对钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜中钛元素对体系的光学性质及其微结构的影响进行了实验研究.进而对该薄膜进行变温阻抗实验表明,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜与未掺杂的薄膜相比具有更好的热稳定性.基于对薄膜样品的数据保持能力测试的实验数据,经阿伦纽斯外推处理可知,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜样品的10年数据保持温度要高于未掺杂Ge2 Sb2Te5薄膜样品.本文的实验结果均证实,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜更适合应用于相变随机存取存储器中.

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来源
《红外与毫米波学报》 |2015年第6期|658-662|共5页
作者
张颖; 魏慎金; 易歆雨; 程帅; 陈坤; 朱焕锋; 李晶; 吕磊;
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作者单位

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

复旦大学光科学与工程系,上海200433;

上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海200433;

复旦大学(教育部)微纳光子结构重点实验室,上海200433;

潍坊医学院医学物理系,山东潍坊261053;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜; 相变特性; 热稳定性; 数据保持能力;

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