氢化碳膜的胺掺杂及其对甲酸蒸气的质量传感特性

摘要

通过将其他元素或原子基团掺入氢化非晶碳膜网络结构中的方法 ,可以实现对 α-C∶ H薄膜的改性 ,赋予 α-C∶H膜新的特性 ,从而满足某些特殊应用的需要 .用含胺基的碳氢化合物正丁胺作为碳源 ,用等离子体增强化学气相沉积方法制备 α-C∶H膜 .薄膜的红外光谱分析表明胺基团已掺入薄膜的网络结构中 .喇曼光谱分析表明薄膜具有无序态碳、三配位碳和四配位碳原子的混合结构 .但主要成份为无序态碳 .将掺胺的 α-C∶H薄膜作为质量传感膜沉积到石英晶体表面制成气相质量传感器 .该传感器对甲酸蒸气具有较高的响应灵敏度、好的线性相关系数和宽的线性响应范围 .