Ti-Al-N系功能梯度薄膜结合强度的研究

摘要

研究了成分梯度对Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ 系功能梯度薄膜结合强度的影响．实验结果表明：Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ 系功能梯度薄膜的结合强度高于均质薄膜，且随着梯度的增加结合强度逐渐增加。