利用MOCVD在Si衬底上制备立方相Mg0.25Zn0.75O薄膜及日盲探测器

王立昆; 单崇新; 申德振; 张振中

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采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长.在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75 O-Si异质结型日盲紫外探测器.该探测器在-5V偏压下,器件暗电流为0.02 mA.在0V偏压下的峰值响应位于大约280 nm处,响应度为1.2 mA/W.

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来源
《河北科技师范学院学报》 |2014年第4期|36-39|共4页
作者
王立昆; 单崇新; 申德振; 张振中;
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作者单位

中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春,130033;

河北科技师范学院;

中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春,130033;

中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春,130033;

中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春,130033;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体性质;
关键词
立方相Mg0.25Zn0.75O; 日盲探测器; 金属有机气相沉积;

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