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脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟

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摘要

利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,同时对等离子体在空间膨胀的物理机制进行了深入的讨论.

著录项

来源
《海南师范大学学报（自然科学版）》 |2008年第2期|153-157|共5页
作者
胡春香; 吴瑜之;
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作者单位

江西蓝天学院公教部数理教研室,江西,南昌,330098;

江西蓝天学院公教部数理教研室,江西,南昌,330098;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类凝聚态物理学;
关键词
脉冲激光沉积; 等离子体羽辉; 差分模拟; 粒子速度; ZnO薄膜;

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