获得钛表面分级多孔微纳结构的复合工艺及其形成机制

摘要

分别用喷丸酸蚀（SLA）、阳极氧化（AO）以及复合喷丸酸蚀和阳极氧化（SLA＋AO）方法对纯钛进行表面改性，以获得具有分级多孔微纳结构、表面富氧及锐钛矿相的钛表面特征。通过表面形貌、粗糙度、表面成分以及晶相结构来分析各组样品的表面特征及其形成机制。喷丸酸蚀（SLA）处理之后的样品具有由2～3μm凹坑和100～400nm孔洞组成的分级多孔形貌特征。阳极氧化（AO）处理之后的样品表面形成分布较均匀的20-400nm的孔结构，表面富氧并出现锐钛矿相。复合喷丸酸蚀和阳极氧化（SLA＋AO）方法处理之后的样品表面具有分级多孔微纳结构，表面富氧并出现锐钛矿相。最后分别探讨了SLA、AO及SLA＋AO处理方法的形成机理。