引信用微压阻式加速度传感器系统设计

摘要

所设计的微机械压阻式加速度传感器系统,能同时用于导弹引信的安全系统和发火控制系统;系统包括传感器、信号处理电路和自检测系统;以国内现有的加工水平为依据,通过优化设计得到传感器的结构参数,并对各项指标进行了仿真计算,在满足性能指标的前提下,保证器件良好的可加工性.