PECVD制备类金刚石薄膜的光学特性

摘要

在室温条件下利用射频等离子增强化学气相沉积技术在Si衬底和玻璃沉底上制备了类金刚石薄膜。通过对Si衬底生长的DLC薄膜的反射光谱分析发现DLC薄膜具有一定的减反射效果。玻璃衬底上制备的DLC薄膜的透射光谱分析表明制备的DLC薄膜在可见光区具有一定的增透作用。理论分析认为DLC薄膜透光性能主要与薄膜的sp3键的百分含量有关,当sp3键含量高时,光学透过性好,当sp3键含量低时,光学透过性差。DLC薄膜在He-Cd脉冲光激发下PL谱分析发现DLC薄膜的发光峰为460 nm,在该条件下制备的DLC薄膜光学带宽是2.7eV,认为DLC薄膜发光主要是通过sp2原子团簇中电子空穴对的辐射复合而完成。