扫描电镜中的算法进展

摘要

在过去的二十年中,同透射电镜一样,在扫描电镜上也取得了许多硬件的进展,如浸没式物镜、减速模式和新型探测器技术.测试技术的进步包括硬件和软件两方面内涵.伴随硬件的进步,借助信息科学(包括人工智能(AI)和其他统计数学方法),人们在成像和光谱学方面也有了新的机遇.硬件与软件结合,可以实现更高精度、更高通量的表征,也使得如今的扫描电镜越发智能与易用.本文简要介绍在扫描成像、EDS和EBSD算法上的诸多进展,诸如多元分析、压缩感知和词典算法等.