PECVD制备a-C:H:N薄膜的微观结构研究

郝俊英; 徐洮; 李红轩; 刘维民; 刘惠文

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PECVD制备a-C:H:N薄膜的微观结构研究

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非晶含氢碳膜(amorphous ydmgenated arbon a-C：H films)在力学、热学、电学、化学、光学等方面具有优异的性能，被广泛应用于诸多领域，有巨大的应用前景。随着a-C：H薄膜制备技术的进一步完善，在此基础上的改性材料又引起了人们的注意。氮掺杂类金刚石薄膜(a-C：H：N)近年来成为人们研究的

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来源
《电子显微学报》 |2004年第4期|431-431|共1页
作者
郝俊英; 徐洮; 李红轩; 刘维民; 刘惠文;
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作者单位

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

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正文语种 chi
中图分类工程材料学;化学;
关键词
非晶含氢碳膜; 射频等离子体增强化学气相沉积; 微观结构; 显微结构分析; 傅立叶红外光谱仪; 原子力显微镜;

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