机译:PECVD沉积参数对a-C:H薄膜DLC / PLC组成的影响
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机译:沉积参数对反应溅射纳米复合TaC / a-C:H薄膜组成和结构的影响
机译:沉积参数对ECR-PECVD沉积Er掺杂SRSO薄膜的光学和组成特性的影响
机译:通过沉积方法和膜厚控制和设计PECVD碳掺杂低k二氧化硅薄膜的关键性能。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:使用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)技术沉积的氢化非晶碳(a-C:H)薄膜的结构和光学性质
机译:用于研究仪器的pECVD(等离子体增强化学气相沉积)金刚石薄膜