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刘志文; 付伟佳; 刘明; 谷建峰; 马春雨; 张庆瑜;
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024;
ZnO薄膜; 退火行为; 界面; 扩散机制;
机译:射频磁控溅射沉积ZnO薄膜的结构和光学研究:退火的影响
机译:退火温度和退火气氛对磁控溅射蓝宝石(0001)衬底上ZnO薄膜的结构和光学性能的影响
机译:退火温度对射频磁控溅射生长钇掺杂ZnO薄膜性能的影响
机译:真空和锌蒸气的生长后退火对磁控溅射GaMgZnO薄膜的电学和光学性能的影响
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:通过磁控溅射和高温退火在石英玻璃和蓝宝石(001)基板上生长的ZnO薄膜的比较研究
机译:瞬态电导率测量脉冲激光退火的热力学和动力学研究
机译:磁控溅射法掺杂金属的ZnO薄膜的方法
机译:ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管的制造方法,ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管
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