激光投影和四步移相法在微型元件测量中的应用与实现

摘要

采用微型激光投影技术产生干涉条纹,结合CCD传感器采集图像数据,通过整合四步相位移动测量方法,测量微小元件高度、面积和体积.针对不同的材质使用多波长激光干涉条纹,提高微小元件三维形貌测量的精度.通过Savitzky-Golay滤波器改善测量过程中的系统误差,对微小元件形貌测量可以达到微米级的分辨率.实验证明,激光投影和四步移相测量法在微型元件中平均测量误差可以达到±10μm,具有很高的实用价值.