ITO/Pt复合薄膜应变计制备及耐高温性能研究

摘要

针对极端环境下发动机涡轮叶片的应变测试需求,采用脉冲激光沉积和磁控溅射的镀膜工艺在氧化铝陶瓷基底上制备了以ITO/Pt复合薄膜为应变层的高温薄膜应变计,并研究了复合薄膜中ITO薄膜与Pt薄膜的厚度比对ITO/Pt复合薄膜应变计耐高温性能的影响。研究表明,复合薄膜厚度比为5.5∶1时,ITO/Pt复合薄膜应变计在高温(1200℃)环境下具有比较稳定的电阻温度系数(TCR),为564.52×10^(-6)℃^(-1)。此外,还对ITO/Pt复合薄膜应变计常温下的电阻随应变的变化情况进行了测试,测试结果表明,应变计的电阻随应变呈线性变化,其应变灵敏系数(GF)为3.10。