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空气和氮气气氛中热处理温度对ITO薄膜性能影响

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摘要

以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺.在玻璃基片上制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO),采用x-射线粉末衍射、紫外-可见透射光谱和四探针技术,研究了在空气和氮气气氛中,不同热处理温度对IT0薄膜的微结构、光学和电学性能的影响.

著录项

来源
《信息记录材料》 |2008年第3期|21-24|共4页
作者
潘洪涛; 周炳卿; 陈霞; 李力猛;
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作者单位

内蒙古师范大学,物理与电子信息学院,呼和浩特,010022;

内蒙古师范大学,物理与电子信息学院,呼和浩特,010022;

内蒙古师范大学,物理与电子信息学院,呼和浩特,010022;

内蒙古师范大学,物理与电子信息学院,呼和浩特,010022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类非线性光学（强光与物质的作用）;
关键词
掺锡氧化铟薄膜; x-射线衍射分析; 方块电阻; 透过率;

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