关于制备1315nm45°入射高反射镜的实验研究

摘要

从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作．为制备1315nm45°高反射镜提供一些判断实验数据．并提出改进的方法．从而使制备的高反射膜取得满意的结果：反射率大于99．8％。