Al_2O_3过渡层对ZnO薄膜性质的影响

摘要

采用磁控溅射(Sputtering)方法在Si(100)上成功生长了Al2O3薄膜,并以此为衬底,实现了ZnO薄膜的低温准外延生长。通过ZnO薄膜的表征。表明,ZnO薄膜能在Al2O3过渡层上沿c轴准外延生长,采用适当的Al2O3过渡层后,其电学性质也有大幅提高。