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微米/纳米技术在机械加工中的应用

         

摘要

本文主要介绍了微细加工技术、精密测试技术、微系统技术等微米技术和以纳米电子技术、纳米机械技术、纳米材料技术、纳米加工技术为主的纳米技术.

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