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扫描声学显微镜的扫描技巧探讨

         

摘要

探讨了在SAT(Scanning Acoustic Technology)扫描过程中对分层扫描结果有显著影响的探头频率、探头下部的气泡、样品表面的气泡、气泡的处理方法及浸泡时间等进行了讨论,结果表明,合适频率的探头、有效的气泡去除及在最佳浸泡时间内才能得到正确的分层扫描结果.

著录项

  • 来源
    《电子工业专用设备》 |2020年第6期|42-4555|共5页
  • 作者单位

    江苏华海诚科新材料股份有限公司 江苏 连云港 222047;

    江苏华海诚科新材料股份有限公司 江苏 连云港 222047;

    江苏华海诚科新材料股份有限公司 江苏 连云港 222047;

    江苏华海诚科新材料股份有限公司 江苏 连云港 222047;

    江苏华海诚科新材料股份有限公司 江苏 连云港 222047;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光检测技术;
  • 关键词

    分层; 探头频率; 气泡;

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