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严伟; 胡松; 唐小萍; 赵立新; 杨勇; 蒋文波; 周绍林; 陈旺富;
中国科学院光电技术研究所 成都 610209;
中国科学院研究生院 北京 100039;
数字微镜阵列; 无掩模光刻; 照明;
机译:基于数字微镜装置的扫描掩模光刻系统的高速曝光方法
机译:通过数字投影法的无掩模曝光装置
机译:节省20年的订单仍然是最高的:到新开发的无掩模曝光机
机译:光致二维二维像素图案化Au / Ag核壳LSPR成像装置的无掩模曝光系统进行气体可视化
机译:单曝光和双曝光光学微光刻的掩模设计:逆成像方法
机译:制造用于生物学分析的无掩模微流体装置的简单方法
机译:用于快速光刻原型的无掩模曝光装置和传感器和微观结构布局
机译:无掩模光刻的方法和装置。
机译:无掩模曝光装置,无掩模曝光方法以及由该无掩模曝光装置和无掩模曝光方法制造的显示基板
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