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感应耦合等离子体刻蚀机的原理与故障分析

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摘要

介绍了IC PE法工艺的基本原理及其设备的基本结构.分析了影响IC P工艺刻蚀速率的主要因素.根据多年维修经验,分析总结了ICP设备常见故障现象并给出了相应的解决方法.

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来源
《电子工业专用设备》 |2017年第5期|59-62|共4页
作者
雷宇;
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作者单位

中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051;

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正文语种 chi
中图分类 TN405.98+2;
关键词
感应耦合等离子体; 干法刻蚀; 故障分析;

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