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中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会
中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会
召开年:
2005
召开地:
昆明
出版时间:
2005-09
主办单位:
中国电子学会
会议文集:
第十五届学术年会军用微波管研讨会论文集
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1.
双孔度金属多孔阴极简介
阎肃秋
;
李季
;
袁海清
;
于志强
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文将简要介绍双孔度金属多孔阴极的结构、工艺及性能.双孔度金属多孔阴极是在M-型阴极的工艺基础上,采用特殊结构制成的一种长寿命阴极.与一般M-型阴极不同的是,它除了具有浸满活性发射物质的多孔钨体(一般称为阴极饼)外,还在多孔钨体(阴极饼)内制成一个小储备室,小室中镶嵌有孔度与阴极饼孔度不同的多孔钨体,它同样被浸满活性发射物质.这种阴极的电子发射性能与一般M-型阴极没有不同.但由于小室中储备的活性发射物质,能在更长的时间内,有效地向阴极发射表面输送维持表面覆盖动态平衡的钡原子,而使阴极的寿命变的更长.本文还介绍了一种预期寿命实验的方法和根据实验寿命估算预期寿命的经验公式.
长寿命阴极;
多孔钨体;
活性发射物质;
预期寿命实验;
2.
钨-铱合金基体制备
于志强
;
李季
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文主要介绍了一种新的合金阴极基体的制备方式.采用液固掺杂的方法混合钨铱(W-Ir)金属粉末,可以获得组分分布均匀,颗粒度可控的合金粉末,通过压制毛坯,真空烧结,制备成孔度分布均匀,具有较好机械加工性能的阴极基体.作者探索了新的合金基体制备方法,有望解决合金阴极工艺不稳定,性能不稳定等问题.
阴极;
合金基体;
液固掺杂;
3.
从美国阴极实体看我国阴极的工程化
杨立霞
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文通过介绍美国两家阴极公司产品的系列化、标准化以及生产规模等方面,对比我国阴极制造的现状,阐述了我国阴极工程化乃至整个电真空器件工程化技术研究的迫切性.
储备式阴极;
阴极组件;
阴极工程化;
4.
快速启动阴极的试制
武元元
;
郑海鹰
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文简要介绍具有15秒快速启动、8﹪工作比、6GHz~18GHz宽频带行波管用的阴极,主要应用于电子战作有源诱饵干扰.本文利用传热学的基本理论,对普通热丝、阴极结构进行了改进,采用ANSYS软件进行了阴极组件瞬态热模拟分析,并将模拟结果和实测结果进行比较.结果证明改进优化后的阴极组件能够有效地缩短阴极启动时间,保证行波管快速启动.
行波管;
快速启动;
阴极;
热丝;
5.
阴极-热子组件热效率的研究
张明晨
;
张洪来
;
苏小保
;
李玉涛
;
刘燕文
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文对影响阴极-热子组件加热功率的几个因素进行了分析,并从有效加热面的增大、阴极支持筒材料的选择、氧化铝绝缘层烧结工艺以及装架工艺等几个方面进行了改进,提高了阴极-热子组件的加热效率,从而满足了高可靠、高效率、长寿命X波段行波管的使用要求.
阴极-热子组件;
加热功率;
热效率;
烧结工艺;
6.
低介电损耗微晶氧化铝陶瓷研究
张巨先
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文将1000ppm的MgO烧结添加剂以镁盐的形式均匀加入到超细Al2O3粉中,采用两次烧结方法,制备出气孔率接近零,晶粒尺寸在3~5μm之间的微晶Al2O3陶瓷.其介电损耗为1×10-5,比等静压95﹪Al2O3陶瓷的低近两个数量级,降至蓝宝石的水平.
低介电损耗;
氧化铝陶瓷;
添加剂;
7.
制备工艺对高纯氧化铝陶瓷性能的影响
田志英
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文叙述了陶瓷各制备工艺过程的主要技术特点及主要存在的问题,讨论了各工艺过程对陶瓷显微结构和性能的主要影响因素.
氧化铝陶瓷;
制备工艺;
显微结构;
8.
TWTCAD系统框架设计与软件验证
廖莉
;
杨中海
;
肖礼
;
朱小芳
;
黄桃
;
胡权
;
高鹏
;
李斌
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
"宽带大功率行波管CAD集成环境"(简称TWTCAD)是一套二维螺旋线行波管模拟设计软件.它由六个软件及软件之间接口规范所组成,包括基于有限差分法的电子枪软件UESTC_Gun;高频电路冷测软件UESTC_HelixCT;注波互作用计算软件UESTC_BWI;多级降压收集极设计软件UESTC_MDC;周期永磁聚焦系统设计软件UESTC_fPPM;数据库知识、专家系统UESTC_DB.TWTCAD已经在我国行波管行业中得到应用.
行波管集成环境;
CAD;
系统框架;
软件验证;
9.
TWTCAD多级降压收集极CAD设计与实现
黄桃
;
杨中海
;
胡权
;
廖莉
;
肖礼
;
朱小芳
;
高鹏
;
李斌
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文描述了行波管多级降压收集极CAD设计与实现,对多级降压收集极模拟软件进行了简单的介绍.该软件在二维轴对称的条件下,可以对多级降压收集极进行模拟计算.其特点是界面友好,操作简单,考虑了二次电子发射和磁场的影响.
行波管;
多级降压收集极;
CAD技术;
模拟计算;
10.
等离子体行波管电子光学系统的PIC模拟
俞云华
;
谢文楷
;
王彬
;
高昕艳
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文拟对等离子体行波管的电子光学系统进行数值模拟,获得在真空条件下和等离子体条件下强流电子束的轨迹,优化结果显示,对在不同物理机制下强流电子束的运动情况和特点进行理论分析.束参数:加速电压20kv,束电流3A,束直径1.0cm.
等离子体行波管;
电子光学;
强流电子束;
PIC数值模拟;
11.
强流电子枪数值分析的虚边界元方法
殷海荣
;
宫玉彬
;
王文祥
;
魏彦玉
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文以虚边界元方法为基础,利用FORTRAN语言开发了一个计算强流电子枪的程序,对强流电子枪进行了计算.计算结果表明,选取适当的虚实边界最小距离,虚边界元解法比同等条件下的实边界元法求解精度要高.适当的虚实边界最小距离是获得最好计算精度的必要条件,最好精度还与边界单元长度值有关,只有在最佳距离与最佳边界单元长度达到最佳组合时,才能获得最好的求解精度.虚实界元法的计算速度比同等条件下的边界元法略快.
强流电子枪;
虚边界元方法;
边界元方法;
数值计算;
12.
用MAFIA进行微波管电子枪三维模拟研究
刘秀
;
冯进军
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
电子枪是微波管的重要部分,它所产生的电子注质量直接关系到微波管的性能.它的设计主要有导流系数、电流、注腰半径、注腰位置以及阴极电流密度.本文利用时域有限积分电磁软件MAFIA进行电子枪的三维PIC粒子模拟,模拟计算了电子枪结构中的静电场分布、电子注的运动轨迹、阴极表面发射粒子的电流密度、发射电流和导流系数,在模拟中分析了结构参数对电流和导流系数的影响.这种三维粒子模拟可以扩展到非对称的电子枪的模拟,如栅控电子枪,多注电子枪等.
微波管;
MAFIA;
三维模拟;
电子枪;
13.
影响电子光学CAD程序计算结果的问题分析
李晓影
;
寇建勇
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文通过计算模拟,发现了由SLAC改编的MSDC软件在计算收集极平板模型时,当网格数增多以及当平板电压差降低时出现的问题.这两个问题是早期电子光学CAD程序增多计算网格数时普遍存在的问题.本文对这些问题进行了分析并且给出了解决问题的方法.
网格数;
电子光学CAD;
泊松方程;
多级降压收集极;
14.
脊加载盘荷波导的色散特性研究
周晓岚
;
张勇
;
莫元龙
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
在盘上加脊可以改善盘荷波导的带宽,我们提出了一种新型脊加载盘荷波导,发展了用傅立叶级数展开慢波结构边界函数求解周期加载波导结构的方法,对它的色散特性进行了分析.
脊加载;
盘荷波导;
色散特性;
15.
填充电各向异性媒质的矩形波导的研究
费娜
;
邬显平
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文导出了在直角坐标系中电各向异性媒质中的波动方程,并在单轴晶体填充的矩形波导中进行了求解,研究了场的特性,找出了一些规律性的结论.
电各向异性;
矩形波导;
介电张量;
截止频率;
16.
椭圆螺旋线慢波结构高频特性研究
谢建祥
;
魏彦玉
;
宫玉彬
;
王文祥
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文在椭圆柱坐标系统下,采用Shielth模型严格地分析了零模时任意离心率的自由空间椭圆螺旋线慢波结构的色散特性和耦合阻抗,并给出了随离心率变化时归一化纵向电场的角向和径向变化3D曲线图.理论计算结果表明,增加椭圆截面的离心率,可以增加系统的耦合阻抗,并且可以提高系统的工作频率;同时对场图的研究结果表明,在椭圆截面螺旋线中,不存在纯粹的角向均匀模式.场沿角向呈第一类或第二类Mathieu函数变化,在径向呈表面波形式.
椭圆螺旋线;
慢波结构;
色散特性;
耦合阻抗;
Mathieu函数;
17.
改进的任意槽形螺旋槽慢波结构色散方程
刘洪涛
;
魏彦玉
;
宫玉彬
;
岳玲娜
;
王文祥
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
在对任意槽形螺旋槽结构的分析中,槽形的连续轮廓用一系列相连的矩形阶梯来近似代替,由于以往的研究中没有考虑相邻阶梯边界处存在的突变电容,使得理论计算结果与实验值有一定的差距.本文引入了了交界面处的不均匀电容,获得了改进的任意槽形螺旋槽结构的色散方程,计算结果表明利用改进后的公式所得结果与实验符合更好.
螺旋槽;
慢波线;
色散方程;
色散特性;
18.
曲折矩形槽波导慢波系统的高频特性
薛东海
;
王文祥
;
岳玲娜
;
魏彦玉
;
宫玉彬
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文对曲折圆形槽波导新型慢波系统的高频特性进行了研究,通过理论分析和数值计算,得到了它的色散曲线和耦合阻抗,并分析了结构参数变化时对色散特性和耦合阻抗的影响.曲折槽波导结合了曲折波导散热能力强、色散特性好、容易加工和槽波导单模工作、低损耗、大尺寸等优点,因此这种新型的慢波系统有可能在毫米波及亚毫米波段的行波管中具有较好的发展前景.
行波管;
慢波系统;
色散特性;
耦合阻抗;
19.
螺旋线行波管输出段的三维数值模拟
刘韦
;
李实
;
樊会明
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文利用有限元软件Isfel3d对某螺旋线行波管输出段进行三维数值模拟,计算输出段的S参数和驻波比,将模拟结果与部分实验数据进行验证,得到了比较一致的结果,其平均计算精度在5﹪以内,证实了这种电磁软件可用于行波管输出段的数值模拟,在计算精度上为满足工程设计需要做了一些研究.并将结果应用于实际生产中,取得了良好的效果.
螺旋线行波管;
Isfel3d;
S参数;
数值模拟;
20.
利用MAFIA进行折叠波导注波互作用三维模拟的初步研究
蔡军
;
冯进军
;
黄明光
;
邬显平
;
李炳炎
;
梅良模
;
廖复疆
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文运用电磁场软件MAFIA的粒子模拟程序对三维折叠波导慢波结构进行了建模和仿真,通过分析冷参数特性综合设计了折叠波导的尺寸,电子束参数则考虑了同步条件以及电子群聚条件.为了克服较大空间电荷效应造成的电子束发散,使用了纵向聚焦磁场.基于三维互作用模型得到了初步的模拟结果,该结果可以对折叠波导慢波结构的互作用性能进行预测和分析.
折叠波导;
互作用模型;
MAFIA;
三维PIC模拟;
21.
微带型曲折线慢波结构的理论研究
张大勇
;
冯进军
;
廖复疆
;
孔繁敏
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文对微带型曲折线慢波结构的特性参数进行了分析.用电磁场模拟软件对色散特性进行研究,并应用理论公式进行分析,同时将结果与实际测试结果比较,理论计算和模拟结果符合的较好,此外还对耦合阻抗进行了模拟分析.
微带型曲折线慢波结构;
色散特性;
耦合阻抗;
22.
微波工作室软件在螺旋线慢波结构设计中的应用
陈波
;
杨金生
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
某螺旋线行波管具有螺旋线电压偏高、低频段增益偏低等缺点,作者对改螺旋线慢波结构进行了修改,设计了两个备选方案,利用微波工作室软件对修改前后的螺旋线慢波结构的色散和耦合阻抗进行了模拟.从模拟的结果来看,方案1的色散更为平坦,同步电压适度下降,耦合阻抗变化不大,符合设计要求.
微波工作室软件;
螺旋线慢波结构;
色散特性;
耦合阻抗;
23.
螺旋波纹波导理论分析
王峨锋
;
李宏福
;
李浩
;
刘迎辉
;
董爱香
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
|
2005年
摘要:
本文首先用微扰理论和耦合波理论对螺旋波纹波导进行分析,得出螺旋波纹波导的传输耦合波方程,根据螺旋波纹波导内模式耦合的规则,给出色散方程并分析其色散特性,同时计算了本征模式中各场幅值的比例关系.
螺旋波纹波导;
耦合波方程;
色散特性;
本征模;
幅值比例;
24.
同轴任意槽形周期圆波导慢波结构小信号特性
岳玲娜
;
王文祥
;
魏彦玉
;
宫玉彬
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文用阶梯近似的方法分析任意槽形加载的圆波导慢波系统中的场,采用自洽场理论,得到了任意槽形周期加载圆波导慢波系统在小信号条件下的"热"色散方程,并对结构参数对小信号增益的影响情况进行了研究.降低加载深度和槽口宽度,可在某种程度上提高增益.
同轴任意槽形;
慢波结构;
小信号增益;
25.
磁控管强迫对流散热分析
姚列明
;
杨中海
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
为了提高磁控管的工作稳定性、频率稳定性和工作寿命,有效的散热手段是非常必要的.本文通过ANSYS软件,利用实际磁控管散热器的各个参数建立实体模型,计算了散热片的尺寸对散热效果的影响,并通过实验验证了数值模拟结果的正确性.本文证明了数值模拟方法为磁控管的散热设计有效的手段之一.
磁控管;
散热;
数值模拟;
ANSYS;
26.
两类电磁边界格林并矢的构造
王彬
;
谢文楷
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文在前人的基础上,基于矢量本征函数展开法,利用矢量波函数边界条件在一维空间的映射关系求解出两类电磁边界并矢格林函数.求解过程不涉及具体结构以及坐标系,因而解具有普适性,提供了一种求解并矢格林函数的简便方法.
矢量本征函数展开法;
边界条件;
映射关系;
27.
CAD在宽带天线开关管设计中的应用
陶环航
;
惠琳
;
尹凯
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文根据天线开关管设计手册中介绍的宽带天线开关的设计方法,应用HFSS建立通用模型,对其频率特性进行计算,计算曲线与实测曲线比较符合.该模型对宽带天线开关管的频率特性设计提供了有益的参考.
天线开关管;
带通滤波器;
频率特性;
CAD;
宽带天线;
28.
三维微波炉磁控管计算机仿真研究
陈彦
;
杨中海
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文采用时域有限差分粒子模拟软件MAGIC,对微波炉磁控管进行精确地建模,其中包括螺旋阴极、极靴以及槽型叶片等部分,使得模拟模型与实际的磁控管非常接近.在计算中分别采用均匀磁场和轴向阶梯形变化磁场进行模拟,得到了不同磁场分布中的磁控管输出特性.由模拟结果可知,当磁控管内的磁场分布适当不均匀时,有利于磁控管快速起振,改善输出频谱.但磁场的非均匀效应有待进一步研究,并通过实验进行验证.
MAGIC;
微波炉磁控管;
精确建模;
轴向阶梯形变化磁场;
快速起振;
29.
应用于等离子体显示器的自适应子场编码驱动方法
刘祖军
;
刘纯亮
;
梁志虎
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
为解决交流等离子体显示器(ACPDP)中传统"单纯累积"发光模式产生的灰度显示不足的问题,本文提出了一种自适应子场编码驱动方法(ASC).该方法中子场编码根据每一场输入图像的归一化灰度直方图进行自适应地计算,将子场编码权值选取在输入图像灰度信息最丰富的区间.同时根据计算出的子场编码,驱动电路调整各个子场的维持脉冲个数.仿真结果表明,该方法不仅能够消除ACPDP中的动态假轮廓现象,而且弥补了传统"单纯累积"发光模式造成的灰度显示不足的问题,具有良好的灰度显示效果.
交流等离子体显示器;
动态假轮廓;
自适应子场编码;
"单纯累计"发光;
30.
彩色PDP动态假轮廓的评价及其优化
张小宁
;
张军
;
屠震涛
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文在分析了DFC产生的主要原因和距离法评价DFC的基础上,根据人眼视觉对亮度响应的特性,提出了一种评价DFC的新方法-相对比值法.该方法认为人的视觉是对DFC的相对量敏感,因此,定义任一灰度级的DFC为该灰度级和无DFC的灰度级之间的DFC之和与该灰度级的比值.通过对不同子场编码DFC的计算,结果表明:增加子场数,改变子场顺序,采用斜坡上升编码(SIC)方法,都会使动态假轮廓减轻.根据图像的灰度信息,对各灰度级选择合适的子场组合,可以进一步优化DFC.
等离子体显示器;
动态假轮廓;
相对比值;
31.
平面偏转线圈T型显像管
梁国恩
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
20世纪90年代以来,液晶显示、等离子体等平板显示器件的发展非常迅速,2005年它的产值将开始超过真空显示器件,以彩色CRT显像管为代表的真空显示器件面临的市场竞争日益激烈。尽管显像管具有体积大(长而大的锥体),比较笨重等的缺点,但是价格低、色彩还原性能好、对比度高等特点是平板显示器件无法比拟的。随着高清晰度电视已及多媒体的发展,显像管必然向高清晰度、大屏幕和扁平化发展,国际上显像管研究机构一直致力于cRT的薄型化的研究。今年韩国三星、LG、philips公司发表了偏转角135“的薄型32in显像管。薄型化的开发和生产将引起CRT重大变化甚至是革命性的变化。上海交通大学电子束及真空技术研究所把平面偏转线圈仁l,和T型CRT显像管相结合进行了CRT超大角度偏转(偏转角度大于130。)的有益尝试。本文介绍了一种新型平面偏转线圈的基本结构及制造T型CRT的方法.
平面偏转线圈;
T型显像管;
大偏转角;
32.
X射线实时成像检测系统在电子元器件生产中的应用
傅克信
;
侯建平
;
郭志成
;
谭玉琛
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文简要描述了X射线实时成像检测系统的原理、图像信息的采集和传递的过程.介绍中国电子科技集团公司第十二研究所研发的三种不同型号X射线实时成像检测系统在电子元器件研制和生产中的应用.
X射线;
实时成像;
电子元器件;
33.
微波功率模块中小型化电源变压器的设计和实验研究
李文
;
陈亚非
;
陈银杏
;
冯进军
;
雷虹
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
变压器的设计是集成电源实现小型化的一个重要环节.高频开关电源中变压器设计涉及到的参数很多,其工作状态不易透彻掌握.本文对反激变换器中的高频变压器的主要参数的计算公式,从能量守恒角度进行了详细推导,实验测试结果与理论计算一致.
高频变压器;
反激变换器;
微波功率模块;
电源变压器;
34.
前向波放大器高压电源的设计
陈亚非
;
陈银杏
;
李文
;
冯进军
;
闫铁昌
;
雷虹
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
前向波放大器是一种大功率微波源,利用它和大功率固态可以研制高可靠雷达发射机①,电源的稳定工作是其中的关键因素之一.前向波放大器供电的电源是一种大功率高压电源,其峰值功率高达100KW以上,工作电压为20KV以上.本文研究的高压大功率电源以移相控制集成芯片UC3879为核心,采用1200V/200A的绝缘栅双极晶体管(IGBT)为开关元件,具有完善的监控和保护,文中给出了该电源的设计框图、原理和关键元件的选型计算.
移相全桥;
高压电源;
前向波放大器;
35.
用于环杆型行波管环杆的加工研究
赵丽
;
胡京军
;
吕颜杰
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文为了克服环杆的微变,要求在环杆的另一头有一个支点,以保证在加工中四次旋转不改变同心度.我们采用在分度头的另一头调节环杆高度,也作为环杆的一个支点,以保证环杆同轴旋转,为此设计的一个找正卡具.
环杆型行波管;
线切割;
微波管;
36.
定量沉积在真空器件中的应用
彭毅
;
姜霞
《中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会》
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2005年
摘要:
本文用定量沉积的方法在陶瓷表面沉积了方阻为0.1Ω/square的电阻膜,测量了镀膜厚度对方阻的影响.本文还介绍了定量沉积与其它方法的比较.
定量沉积;
电阻膜;
真空器件;
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