退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
高小平;
X辐射; 投影; 光刻系统;
机译:基于数字掩模技术的高质量投影缩小光刻系统研究
机译:缩小浸没式磁性透镜,用于无交叉投影电子投影光刻
机译:移动掩模深X射线光刻的X射线光刻验证与开发仿真系统
机译:用于EUV投影光刻的光学缩小系统中的准静态光学畸变的热校正
机译:面向功能设备直接数字制造的新型可扩展投影微立体光刻系统的开发
机译:基于CCD图像分析的线性比例投影光刻光刻对准方法
机译:利用缩小投影曝光系统研究高分辨率光刻
机译:用于软X射线投影光刻的三元件冷凝器系统的X射线表征
机译:使用带电粒子束的光刻系统用于半导体器件制造,使用光学缩小投影系统减少来自单元孔的光束,并偏转以扫描晶圆
机译:微光刻缩小透镜和投影照明系统
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。